熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機、NEWKON新光、TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產(chǎn)品中心
-
CEDAR思達
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
- ONO SOKKI小野測...
-
U-Technology...
- ITON伊藤
- chuhatsu中央發(fā)明...
- TOADKK東亞
- HOYA豪雅
- COSMOS日本新宇宙
-
UENO上野精機
- DSK電通產(chǎn)業(yè)
-
POLARION普拉瑞
- LUCEO魯機歐
- ThreeBond三鍵
-
HAMAMASTU濱松
-
TML東京測器
- SHINAGAWA SO...
- IMV愛睦威
- custom 東洋計量
- yuasa 尤阿薩
- HAYASHI林時計
- SIBATA柴田科學(xué)
- SEN日森特殊光源
-
HSK 平原精機
-
SOMA相馬光學(xué)
- iwata巖田
- MUSASHI武藏
- USHIO牛尾
- ACTUNI阿庫圖
- ORC歐阿希
- DRY-CABI德瑞卡比
- COSMO科斯莫
-
SHOWASOKKI昭和...
-
CHUBUSEKI中部精...
-
SAMCO薩姆肯
- navitar 納維塔
- ASKER 高分子計器
- KOSAKA Labor...
- EMIC愛美克
-
OPTEX奧泰斯
- NISSIN日進電子
- TANDD 蒂和日
- FUJI TERMINA...
- TAKASAGO高砂
- TAKIKAWA瀧川
- SUGAWARA菅原
- MACOME碼控美
-
FURUKAWA古河
-
TSUBOSAKA壺坂
- mitutoyo 三豐
- HAYASHI 林時計
- HOZAN 寶山
- FEI SEM電子顕微鏡
- YUASA尤阿薩
- SAKAGUCHI坂口電...
-
MDCOM 株式會社
-
inflidge 英富麗
- RKC 理化工業(yè)
- MORITEX茉麗特
- LIGHTING 光屋L...
- TEITSU帝通
- Excel聽音機
- SERIC索萊克
-
FUJI富士化學(xué)
-
TONCON拓豐
-
SHINKO新光電子
- Ono Sokki 小...
- 樂彩
- IIJIMA 飯島電子
- THOMAS托馬斯
- JIKCO吉高
- 分散材料研究所
-
NAVITAR納維塔
- Cho-Onpa 超音波...
- revox 萊寶克斯
- Toki Sangyo ...
- SUPERTOOL世霸
- EIWA榮和
- FUJITERMINAL...
- TOYOX東洋克斯
- AMAYA天谷制作所
-
TSUBAKI NAKA...
- TOPCON 拓普康
- NIKKATO日陶
- ITOH伊藤
- NEWKON新光
- SIBATA柴田
-
TAISEI
-
MITSUI三井電氣
-
加熱器
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
156mm 方形/小時 1500 張吞吐量
? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題，
以及通過改進托盤支架進行背面旋轉(zhuǎn)措施
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點
超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備可
運輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽能電池的生產(chǎn)需求。
為了實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機構(gòu)，
以實現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。
卸載機部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
具有冷卻功能。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±10% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 156mm 方形，126mm 方形 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | ～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | 1500 張/小時 | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構(gòu) | 電阻加熱和燈加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 長頭（*多可添加 3 個標準頭和 5 個頭） | |||||||||||||||||
常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
昆山代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
無錫代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
南京代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
產(chǎn)品留言
標題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
